磁気センサーマイクロセンサー・ナノ粒子

製品分類

磁気センサーと　マイクロセンサー　

単結晶　ナノ粒子
	TMR磁気センサートンネル磁気抵抗TMR	マイクロフォースセンサー大気液中真空に対応したマイクロマニピュレータに採用
	マイクログリッパーマイクロサイズサンプルをグリップする
	金属単結晶　酸化物単結晶・合金単結晶高精度に研磨加工したSPL社の単結晶	エッチングガスXeF₂（2フッ化キセノン）シリコン等方性エッチング用キャリアガス
	金属ナノ粒子 QSI-Nano ニッケル、銅、銀、鉄、マンガン、コバルトの均一ナノ粒子
成膜装置
	ALD原子層堆積装置