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 三次元微細表面形状測定 Surface Metrology 
微細表面形状測定装置NanoMap-D 1台3役微細表面形状測定装置

接触式の段差計と走査型プローブ顕微鏡と白色干渉計の複合機

白色干渉計
高解像度白色干渉計

4メガピクセルの高解像度と高再現性、従来の白色干渉計より数倍の高速測定
走査型プローブ顕微鏡 走査型プローブ顕微鏡

接触式の走査型プロ-ブ顕微鏡
接触式表面形状測定Nanomap500LS
1台2役の接触式微細表面形状測定装置

接触式の段差計と接触式の走査型ローブ顕微鏡を一体化
プローブカンチレバー プローブ・カンチレバー

主要メーカーすべてに対応する高品質プローブ

スライドガラス SURFスライドガラス
既存の光学顕微鏡に装着するだけでナノ試料を観測
微細表面形状測定装置NanoMap-LS 触針式粗さ計

膜厚測定、粗さ測定、段差測定のシンプルな装置

   

サンプル別の測定事例
 
■ 太陽電池薄膜の測定 ■ 生体を測る
 太陽電池セルの結晶ピラミッドを測る ■ 液晶を測る
■ コーティングを評価する  燃料インジェクターを測る

 ブレーキパッドとピストンリングを測る

■ 紙を測る
■ MEMS加工パターンを測る ■ PSSを測る
■ イオン化ポテンシャル測定事例  

 

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