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三次元微細表面形状測定
Surface Metrology
1台3役微細表面形状測定装置
接触式の段差計と走査型プローブ顕微鏡と白色干渉計の複合機
高解像度白色干渉計
4メガピクセルの高解像度と高再現性、従来の白色干渉計より数倍の高速測定
走査型プローブ顕微鏡
接触式の走査型プロ-ブ顕微鏡
1台2役の接触式微細表面形状測定装置
接触式の段差計と接触式の走査型ローブ顕微鏡を一体化
プローブ・カンチレバー
主要メーカーすべてに対応する高品質プローブ
SURFスライドガラス
既存の光学顕微鏡に装着するだけでナノ試料を観測
触針式粗さ計
膜厚測定、粗さ測定、段差測定のシンプルな装置
サンプル別の測定事例
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太陽電池薄膜の測定
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生体を測る
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太陽電池セルの結晶ピラミッドを測る
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液晶を測る
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コーティングを評価する
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燃料インジェクターを測る
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ブレーキパッドとピ
ストンリングを測る
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紙を測る
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MEMS加工パターンを測る
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PSSを測る
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イオン化ポテンシャル測定事例
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