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接触式３D微細形状測定装置 NanoMap-500LS
接触式粗さ計と
接触式の走査型プローブ顕微鏡SPMを一体化
シームレスな三次元微細形状マッピングを作成 |
表面形状測定装置の触針式段差粗さ計と接触式の走査型プローブ顕微鏡SPMを一体化して
微細領域はSPMで、広域は段差計で短時間測定できます。切替スイッチだけでシームレスな三次元測定を可能にしました。微細形状マッピングを作成する装置として従来の粗さ計とは異なる新製品です。
ともに接触式プローブを走査してモーターXY駆動ステージと高精度ピエゾステージを使い分ける機能が優れています。
触針半径は0.1umから25umの間で選択可能
触針圧は0.1mgから100mgの間で選択可能
高精度ピエゾステージにて500umx500um領域を走査
段差計プローブはモーター駆動XYステージで光学フラット上を50ｍｍｘ50ｍｍまで走査
4メガピクセルの高解像度の画像が可能
仕 様 |
ピエゾ走査 |
モータ走査 |
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微小レンジ |
粗レンジ |
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垂直分解能： |
0.1nm |
10nm |
0.1nm／10nm |
高さ測定範囲： |
5μｍ |
500μｍ |
5μｍ／500μｍ |
水平走査範囲： |
500μｍ |
500μｍ |
50mm |
ＸＹステージ走査範囲 |
標準：100mm ｘ 100mm 大型ＸＹステージ可能(オプション) |
触針圧： |
0.1mg- 100mg ＰＣより選択可能 |
触針先端半径： |
標準：5μm, オプション：0.1-25μｍ選択可能 |
最大試料高さ： |
50mm |
ステージ回転： |
360° |
触針式段差計プラスプローブ顕微鏡
触針プローブと３D取込画像 |
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特 徴
□ 接触式触針段差計と走査型プローブ顕微鏡を一体化してマッピング作成
□ モータ走査とピエゾ素子走査
□ 走査範囲： 50x50ｍｍ−500x500μｍ
□ 自動測定位置設定機能（XYステージ）
□ 輝度切替機能付き内蔵カラーカメラ
□ コンスタント触針圧設定
□ SPIP画像解析ソフト |
用 途
□光学研磨された表面から粗い機械加工面まで
３Ｄ表面形状と粗さ測定
□ 薄膜の段差・粗さ測定
□ 薄膜のストレス・平面度・曲率測定
□ スクラッチや溝の形状・摩耗・幅・体積測定
□ MEMS・半導体・電子デバイスの３Ｄ表面形状測定
□ 太陽電池・燃料電池の３Ｄ表面形状測定
□ 塗装膜・蒸着膜の膜厚・粗さ測定 |
| メーカーリンク： |
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シリコン基板上の半導体構造を
XY500um ｘ Z1umをピエゾ走査 |
スクラッチ溝のXY50um x Z8um走査
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ICパターンをピエゾ走査で３D表示 |
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