次世代型触針式段差 表面形状測定装置 非接触３D表面形状測定装置 全焦点3D表面形状測定装置 非接触・ 全焦点3D輪郭形状 測定ユニット Real 3D 原子間力顕微鏡AFM
AFMと白色干渉計を1台で使い分けできる装置です。 これまでAFMで精密測定したい場所を特定するまでに時間を要しましたが、本機では白色干渉計にて数秒で500μm角を測定して場所を特定したのち、AFMにて精密測定ができます。1台のプラットフォームで白色干渉計とAFMのヘッドを交換して使うことにより低価格にできました。あとからヘッドを追加することもできます。
0.1nm
特 徴 □白色干渉計とAFMをつかいわけることができる □５００μmエリアから測定箇所を指定してAFMで スキャンできる □測定時間の短縮 □倍率 １０x 20ｘ 50ｘ 標準構成 AFMヘッド, 白色干渉計ヘッド, プローブ, カンチレバー,10倍レンズ, モーター駆動ステージ,制御器, 除振台, PC, ISO防振カバー 構成は選択できます。
