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高温対応ナノインデンター
押圧試験で硬度・ヤング率を業界一の高精度で測定
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常温から高温環境までの薄膜やツールの機械特性が高精度にナノからマイクロまで評価できる押し込み試験装置ナノインデンターです。押圧試験により硬度、ヤング率、接着度、粘弾性といった薄膜の機械的特性が常温と高温で、しかも高分解能にて評価できます。 燃料電池、太陽電池セルの高温環境を設定できます。液中の試験も可能です。 750℃まで測定できるナノインデンターは本機が初めてです。マイクロインデンターとして500℃まで設定できます。
モジュール方式なので組み合わせが自由でかつ随時アップグレードが可能です。温度ドリフトが業界一小さく高精度高分解能が特徴。
ISO 14577に完全対応しています。
ISO 14577はインデンテーションの方法、校正法、コーティングテスト方法等を特定していますが、Part 1-4まで全てに準拠します。校正キットのサンプルはNPL（国立物理研究所）トレーサブルを使用する必要があります。MML社の標準サンプルはNPL準拠です。
自動車の部品やコーティングの評価に使われている応用例を特集しました
測定種目
- インデントテスト（押圧試験）
粘着度測定，ヤング率（たわみ），引張応力，膜厚，表面粗さ
- スクラッチテスト
硬度，コーティング度，接着性
- 衝撃負荷試験（インパクトテスト）
粘弾性，腐食度，疲労試験，連続剛性試験，表面摩擦，トポグラフィ
- 高温環境 最大750℃まで
- 液中負荷試験
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