高解像度白色干渉計　　NanoMap-O
　　 三次元微細形状マッピング装置　　　　　　　　　　　　

特　　徴
□　高輝度LED
□　低ノイズ
□　高解像度CCD
□　高さ走査範囲は0.1nmから10mm
□　SPIP画像解析ソフト
□　広範囲を短時間測定
□　粗い面からスムース面まで測定

用　　途
□光学研磨された表面から粗い機械加工面まで ３Ｄ表面形状と粗さ測定
□　薄膜の段差・粗さ測定
□　薄膜のストレス・平面度・曲率測定
□　スクラッチや溝の形状・摩耗・幅測定
□　MEMS・半導体・電子デバイスの３Ｄ表面形状測定
□　太陽電池・燃料電池の３Ｄ表面形状測定
□　塗装膜・蒸着膜の膜厚・粗さ測定