接触式と非接触式３D微細形状測定装置　
1台3役のSPMと高解像度白色干渉計　　　　NanoMap-D

特　　徴
□　接触式と非接触式表面形状測定装置の組合せ により多様なサンプルに対応
□　チップスキャンとステージスキャンが併用できる
□　多くのサンプルのÅ精度の測定
□　光学特性の異なる試料の３Ｄ画像取込
□　接触測定による生の表面形状測定
□　高速３Ｄ画像作成用マルチコアプロセッサ採用
□　４メガピクセル高解像度センサ採用
□　SPIP画像解析ソフト

用　　途

□光学研磨された表面から粗い機械加工面まで
３Ｄ表面形状と粗さ測定
□　薄膜の段差・粗さ測定
□　膜厚測定
□　薄膜のストレス・平面度・曲率測定
□　スクラッチや溝の形状・摩耗・幅・体積測定
□　MEMS・半導体・電子デバイスの
３Ｄ表面形状測定と粗さ測定
□　太陽電池・燃料電池の３Ｄ表面形状測定
□　塗装膜・蒸着膜の膜厚・粗さ測定