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充実した機能を標準装備した、触針式段差・表面形状測定装置XP-Plusです。表面粗さ、段差、膜厚、うねり等の解析ができます。分解能を0.4Åにアップ、最大測定高さを800µmに、最大測定点を12万点に増強しました。ARM7の演算プロセッサーを内蔵しました。ステージが手動式のXP-100型とモーター駆動のXP-200型、大型ステージのXP-300型の3機種共に業界一の多機能を標準装備することで、更に使い易くなりました。
ＡＲＭ７マイクロプロセッサーの採用により、データ処理の高速化、ノイズレベルの低減を飛躍的に増進させました。
用 途 半導体，有機膜，液晶，通信機器，金属加工，自動車，産業用電子機器，
などの表面段差・膜厚・粗さ・うねりの解析
触針式
段差・表面形状測定装置
XP-Plusシリーズ
主な仕様(XP-100)
| ステージ径 |
140ｍｍ |
| 走査幅 |
30mm |
| 高さ分解能 |
MAX 0.4Å@2.5µm |
| 高さ再現性 |
5Å@1µm |
| 最大測定高さ |
800µm |
| 最小触針圧力 |
0.03mg |
| ライン計測点 |
MAX 120,000点 |
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特 徴
- 柔軟でもろいサンプルも触針圧力制御により測定可能
- 最小触針圧力： 0.03mg
- 業界一多機能な『標準仕様』
- ARM7演算プロセッサ搭載
- ストレス及びスティッチングソフトウェアを標準装備
- データポイント： 最大120,000点／走査
- ステージ径140mm，200mm，300mmをラインナップ
- Windows XP / Vista 対応
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| メーカーリンク： |
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測定例 Sample Images
VLSIスタンダードの3Dイメージ
複数画面とvideo画面を同時操作
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