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全焦点3DプラスAFMを発表

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NanoMap製品ライン
接触式3D微細形状測定装置と白色干渉計 NanoMap-D


接触式3D微細形状測定装置NanoMap-LS

高解像度白色干渉計

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全焦点3Dプラス表面形状測定装置
  

非接触で透明膜もスムース面も三次元測定できる全焦点3Dプラス表面形状測定装置(全焦点3Dプラス)です。 全焦点機能にZ-dot技術を付加することにより、非常に透明なサンプルの表裏面の3D画像やカバーガラスの下にあるMEMS微細形状、多層膜の三次元形状測定を可能にしました。
今まで測定が非常に困難であった多くの光学部品やMEMS加工品、粗い面、スムース面、反射率の高い表面が、サンプルの前処理無しに簡単に迅速に測定できるようになりました。


全焦点3DプラスにレンズAFMを組み込んだ全焦点3DプラスAFMを発売します。広領域からAFMの領域までを1台で測定できます。


全焦点3D表面形状測定zeta200
全焦点3Dプラス Zeta-200


特  徴
□ 透明サンプル表裏面の測定
 滑面から凹凸の大きな粗い表面の測定
 1nmから100μm表面粗さ測定
 リアルカラー画像・短時間測定
 濃淡画像の取得
 微分干渉顕微鏡機能の追加(オプション)
 光学薄膜の膜厚測定(オプション)
 多点自動測定プログラム

用  途
□太陽電池
◇表面形状・ 保護膜 膜厚
◇CMPダイヤモンドパッド・ワイヤーソー
ピラミッドの専用解析ソフトを用意
□LED
◇高輝度LEDパターン基板 PSSドットパターン
◇液晶RGB
□バイオテクノロジー
◇マイクロ流体デバイス
◇生体
□光学電子部品
◇ハードディスク・磁気ヘッド汚染
◇透明光学部品・携帯電話バックライト・導光板

 

ガラス面とバイオテック 太陽電池電極 太陽電池MCPダイヤモンドパッド
透過ガラス面と下のバイオチップ
多層膜を3D画像化
太陽電池電極   セルと電極が鮮明に画像化 200x275um MCPダイヤモンドパッド貼り合せ
800x1300um

マイクロレンズ

PSS_サファイア 高輝度LED−PSS
LED ディフューザー PSS加工基板(下段に詳細画)

高輝度LED-PSS

全焦点3Dプラスで生体測定 マイクロ流体デバイス 全焦点3Dプラスで血管ステントを測定
バイオテクノロジー昆虫の目 マイクロ流体デバイスとカバーガラスの3D画像化 血管挿入ステント 目盛20um
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