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非接触で透明膜もスムース面も三次元測定できる全焦点3Dプラス表面形状測定装置(全焦点3Dプラス)です。 全焦点機能にZ-dot技術を付加することにより、非常に透明なサンプルの表裏面の3D画像やカバーガラスの下にあるMEMS微細形状、多層膜の三次元形状測定を可能にしました。
今まで測定が非常に困難であった多くの光学部品やMEMS加工品、粗い面、スムース面、反射率の高い表面が、サンプルの前処理無しに簡単に迅速に測定できるようになりました。
全焦点3DプラスにレンズAFMを組み込んだを発売します。広領域からAFMの領域までを1台で測定できます。
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