製品ニュース

2013年1月複合PYS装置を日本大学清水研究室へ納入完了しました
清水教授のご了解をえて写真を掲載(拡大）させていただきます

2012年世界的にも初登場の光電子収量分光と逆光電子分光とケルビンプローブ仕事関数の３機種を複合した分析機を開発しました

イオン化ポテンシャルと仕事t関数測定

型式とおもな仕様

仕事関数測定方法の分類

金属・半導体・有機物の真空準位と測定装置の関係図

ケルビンプローブとイオン化ポテンシャルの機能比較

金蒸着膜の仕事関数測定事例

測定事例

仕事関数測定装置走査型ケルビンプローブ


IPES逆光電子分光装置

光起電力分光ケルビンプローブ



太陽電池薄膜評価装置一覧

製品分類 表面特性分析 AFM・STM・SPM AFMプローブ・カンチレバー 三次元微細形状測定装置 光電子分光測定 LEED電子線回折装置 イオン化ポテンシャル 仕事関数 磁気センサーマイクロセンサ 材料 原子層堆積装置 測定事例 校正標準リーク 受託分析　受託測定

ケルビンプローブは、有機EL材料や高分子ポリマー・太陽電池セルなど導電物や半導体の仕事関数を測定できます。真空中で測定するUHVケルビンプローブは従来のケルビンプローブでは不可能だった高感度・高分解能を達成しました。10mm径のチップを使用した場合、仕事関数を1-3meVの分解能で測定できます。試料とチップ間の距離を0.5mm以上離して試料の上方でチップを振動させ容量変化を計測します。

光電子励起UHVケルビンプローブは、紫外光を照射して励起光電子を測定し、チップの仕事関数の校正ができます。そのためより正確な測定が可能になりました。
イオン化ポテンシャル測定装置PYSはイオン化ポテンシャルとHOMO準位、フェルミ準位が測 定できます。絶対値仕事関数を求めることができます。デモ測定承ります。このイオン化ポテンシャル測定装置とUHVケルビンプローブの複合機を開発しました。HOMO-LUMO測定装置として真空中で詳細なエネルギーバンドを測定できます。

主な用途
・有機薄膜の仕事関数測定
・金属・蒸着膜の仕事関数測定
・ガス吸着による仕事関数変化
・試料表面における単分子の吸着状態
・有機薄膜の光照射による仕事関数変化
・燃料電池・太陽電池セルの仕事関数測定
・グローブボックス内での仕事関数測定

UHVケルビンプローブ 主な仕様 仕事関数分解能 1-3mV 直線駆動機構：距離 <100mm 取付フランジ ICF70 特　　徴 ◆試料上チップが非接触で振動して測定 　　　　　高感度な仕事関数測定 　　　　　十分な試料ーチップ間距離 　　　　　超高真空対応10-8Pa 　　　　　容易なチップ交換 ◆仕事関数の絶対値を測定 ◆分解能　1meV　（チップサイズによる） ◆１測定時間は１0秒以内 ◆測定エネルギーの制限なし UHVケルビンプローブ 仕様 注：超高真空装置に取付けた場合の仕事関数の分解能は、真空容器周辺の電気的・機械的ノイズに左右されます。