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走査型ケルビンプローブ |
| ■仕様 |
チップ寸法 |
標準2mm径（0.2mm-10mmから指定可） |
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仕事関数分解能 |
1-3mV |
| チップ移動距離 |
25mm |
| 試料移動距離（X,Y,Z) |
25ｘ25ｘ25mm（標準）50x50x25mm(オプション)
200ｘ200ｘ25mm(基板用標準）
300ｘ300ｘ25mm（オプション） |
| 最小ステップ幅 |
0.6µm |
| 光学架台 |
250ｘ250mm
600x900mm(基板用） |
| オプション |
カメラ，光源，ガス導入，湿度調整・ガス雰囲気容器，大型光学架台，手動ステージ |
記載されている仕様・型番は予告なく変更することがあります |
| ■装置構成 |
プローブユニット, 試料ステージ（ｘ・ｙ・ｚ駆動機構）,
制御コンピュータ |
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